文(wén)章來源：文(wén)彙網 發布時間： 2023-12-07
日前，在2023上海國際微技術(shù)研究與創新論壇（2023 SITRI DAY）上，上海微技術(shù)工業(yè)研究院發布了“MEMS标準工藝模塊”以及“90nm矽光集成工藝”兩項“超越摩爾”技術(shù)成果。
據悉，這兩項成果均來自該院承擔的國家及市級重大專項所取得階段性成果，可(kě)為行業(yè)中(zhōng)小企業(yè)提供MEMS制造和(hé)矽光子(zǐ)器(qì)件的标準化工藝，大幅提高産品設計效率，其技術(shù)水平均達到國際先進水平，其中(zhōng)矽光集成工藝器(qì)件庫水平更是達到國際領先水平。
2023上海國際微技術(shù)研究與創新論壇暨上海工研院十周年慶、第四屆菊園科技創新論壇、MEMS WORLD SUMMIT活動(dòng)由上海市科學技術(shù)委員會、上海市經濟和(hé)信息化委員會、上海市國有資(zī)産監督管理委員以及上海市嘉定區人民政府聯合指導，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院、嘉定區菊園新區管委會、MEMS WORLD SUMMIT主辦，新微科技集團、上海菊園經濟發展中(zhōng)心聯合承辦。
本次活動(dòng)以“面向世界科技前沿、面向經濟主戰場、面向國家重大需求、面向人民生命健康”為核心宗旨，通(tōng)過建設打造一個(gè)高水平的技術(shù)交流平台，促進科技創新資(zī)源的開發協同，引領“超越摩爾”産業(yè)向中(zhōng)高端邁進，實現産業(yè)的高質量發展。
作為上海市首家研發與轉化功能型平台，上海微技術(shù)工業(yè)研究院與首批15家平台的落地對上海市科創中(zhōng)心建設所起到的基石作用。中(zhōng)科院上海微系統所所長、上海工研院董事長謝曉明研究員表示，未來上海工研院将繼續探索“超越摩爾”技術(shù)研發與轉化以及産業(yè)生态建設路(lù)徑，充分發揮銜接科研和(hé)産業(yè)以及産業(yè)技術(shù)策源地功能，為相關(guān)企業(yè)提供高水平的技術(shù)供給和(hé)高質量的技術(shù)服務。
此外，活動(dòng)現場還舉行了“超越摩爾”集成電路(lù)生态圈戰略合作夥伴代表簽約儀式。上海工研院還與摩侖科技、上海汽車(chē)芯片工程中(zhōng)心、聯影微電子(zǐ)、國家信息光電子(zǐ)中(zhōng)心、浙江大學微納電子(zǐ)學院等行業(yè)知名企業(yè)與科研機構代表簽訂戰略合作協議，旨在打破區域産業(yè)限制，打通(tōng)長三角與粵港澳大灣區以及中(zhōng)部地區産業(yè)區域限制，實現從設備、芯片生産、設計到封裝測試的全産業(yè)生态鍊布局，助力上海集成電路(lù)産業(yè)高質量發展。
